| Метод роста | MOCVD | |
| Политип | 4H, 6H | |
| Диаметр | 2, 3, 4, 6" | |
| Толщина | 0.35, 0.5 мм | |
| Кристаллографическая ориентация | <0001>, другая по запросу | |
| Допустимая разориентация | +/- 0.5 град | |
| Легирование | Нелегированная, n- типа (легированная N) | |
| Полировка | Односторонняя или двухсторонняя | |
| Шероховатость | Ra < 5A @ 5x5 мкм | |