| Метод роста | CZ, MCZ, FZ | |
| Диаметр | 1, 2, 3, 4, 5, 6, 8, 12" | |
| Толщина | 0.3- 0.5 мм, 1.0 мм | |
| Кристаллографическая ориентация | <100>, <110>, <111> | |
| Допустимая разориентация | +/- 0.5 град | |
| Легирование | Нелегированная, p-типа (легированная B), n- типа (легированная P) | |
| Полировка | Односторонняя или двухсторонняя | |